Invention Publication
CN1178391A 开管汞自封碲镉汞材料热处理装置
失效 - 权利终止
- Patent Title: 开管汞自封碲镉汞材料热处理装置
- Patent Title (English): Heat treating apparatus for mercury self sealed mercury-cadmium tellurid for switching transistors
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Application No.: CN97106610.8Application Date: 1997-09-17
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Publication No.: CN1178391APublication Date: 1998-04-08
- Inventor: 陈新强 , 方维政 , 杨建荣 , 郭世平 , 何力
- Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
- Applicant Address: 上海市中山北一路420号
- Assignee: 中国科学院上海技术物理研究所
- Current Assignee: 中国科学院上海技术物理研究所
- Current Assignee Address: 上海市中山北一路420号
- Agency: 上海华东专利事务所
- Agent 高毓秋
- Main IPC: H01L21/324
- IPC: H01L21/324

Abstract:
一种开管汞自封磅镉汞材料的热处理装置,由样品架、密封罩、退火管、不锈钢密封头、隔膜阀、抽气管组成,巧妙地利用汞源兼作自密封密封罩的工质,形成了一种开管方式又具有闭管功能的退火装置;既具有开管装置的方便又具有闭管装置的优点。本装置适宜对N型磅镉汞分子束外延材料进行热处理,也可对液相外延材料、金属有机化学气相淀积材料及块状碲镉汞材料进行调节各种载流子浓度的热处理。
Public/Granted literature
- CN1058761C 碲镉汞材料热处理装置 Public/Granted day:2000-11-22
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IPC分类: