一种碲化镉薄膜电池及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种碲化镉薄膜电池及其制备方法,其中,一种碲化镉薄膜电池的制备方法,包括:在进行TCO镀膜基底深度清洁步骤中,采用溅射工艺的等离子体辉光对TCO镀膜基底的表面进行清洁并同步在TCO镀膜基底表面沉积不连续层;所述不连续层的材质与TCO镀膜基底表层的材质或者与后续制备在TCO镀膜基底表层的层状结构的材质相同。本发明利用溅射工艺的等离子体辉光对TCO表面进行清洁、活化,起到减少TCO层表面缺陷的作用,同时,不连续层可起到增强后续制备在TCO镀膜基底表层的层状结构与TCO镀膜基底表层的结合力的作用,不会作为杂质存在于电池内部,达到提升电池转化效率的效果。
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