一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置
摘要:
本发明涉及碳化硅陶瓷生产技术领域,尤其涉及一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置。一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置,包括有支撑座,所述支撑座固接有第一安装壳,所述第一安装壳转动连接有密封门,所述第一安装壳连通有进风管,所述第一安装壳内侧固接有第二安装壳,所述第二安装壳固接有矩形阵列分布的第一固定板,所述第二安装壳滑动连接有等间距分布的第一滑动板,所述第一固定板与相邻的所述第一滑动板密封滑动连接,所述第一滑动板开设有孔。本发明通过在烘干的过程中第一滑动板的上下滑动,对晶舟下侧的出风位置进行替换,通过第一滑动板和相邻第一固定板的交替支撑,使晶舟在烘干的过程中烘干均匀,防止影响产品质量。
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