发明授权
- 专利标题: 一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置
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申请号: CN202410234171.4申请日: 2024-03-01
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公开(公告)号: CN117824316B公开(公告)日: 2024-05-28
- 发明人: 王明峰 , 王东 , 石金旺 , 李伟强 , 王强 , 石威 , 尹东胜 , 王进 , 李雷宽
- 申请人: 山东华美新材料科技股份有限公司
- 申请人地址: 山东省潍坊市坊子区北大营街3号院内
- 专利权人: 山东华美新材料科技股份有限公司
- 当前专利权人: 山东华美新材料科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省潍坊市坊子区北大营街3号院内
- 代理机构: 威海恒誉润达专利代理事务所
- 代理商 于鹏超
- 主分类号: F26B11/18
- IPC分类号: F26B11/18 ; F26B21/00 ; F26B25/00 ; F26B25/02 ; F26B25/18
摘要:
本发明涉及碳化硅陶瓷生产技术领域,尤其涉及一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置。一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置,包括有支撑座,所述支撑座固接有第一安装壳,所述第一安装壳转动连接有密封门,所述第一安装壳连通有进风管,所述第一安装壳内侧固接有第二安装壳,所述第二安装壳固接有矩形阵列分布的第一固定板,所述第二安装壳滑动连接有等间距分布的第一滑动板,所述第一固定板与相邻的所述第一滑动板密封滑动连接,所述第一滑动板开设有孔。本发明通过在烘干的过程中第一滑动板的上下滑动,对晶舟下侧的出风位置进行替换,通过第一滑动板和相邻第一固定板的交替支撑,使晶舟在烘干的过程中烘干均匀,防止影响产品质量。
公开/授权文献
- CN117824316A 一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置 公开/授权日:2024-04-05
IPC分类: