本发明公开一种具有高平面度的工件的加工方法，包括：S1.对毛坯件的背面进行线切割，以使中间为平面、两端为弧面；S2.对毛坯件的背面进行粗铣，去除因线切割而导致的变形面；S3.对毛坯件的正面的边缘进行粗铣，形成圆弧过渡角，并对毛坯件的正面的内部进行粗铣形成特征结构，得到工件粗品；S4.对工件粗品进行热处理，释放工件粗品中的残留应力；S5.对工件粗品的正面进行磨削，使正面的平面度小于等于预设值；S6.对工件粗品的背面进行铣削，形成工艺孔，并对平面进行精铣；S7.对工件粗品的正面进行圆弧过渡角和特征结构的精铣，得到具有高平面度的工件。本发明的加工方法得到的工件的平面度高，加工效率高。