本发明公开了一种用于测量离子散射束束流密度的测流装置及方法，该测流装置包括：基座，呈圆柱形结构，且基座适于安装在旋转升降台上；测流环，为圆环形结构，若干直径不相等的测流环同心地固定在基座的正面侧，且各测流环的中心位于束线的中心，各测流环的正面位于同一平面以形成测流平面，以测试束流引起的电流信号；偏压环，设置在测流环前侧，且偏压环的中心亦位于束线的中心，偏压环用于提供负偏压，以抑制束流打到测流环上产生的二次电子。本发明中测流装置的测流信号由一系列同心设置的测流环引出，偏压信号由位于测流环前方的偏压环引入，由此可以测量离子散射束介于边沿处和中心处之间的束流密度。