发明授权
- 专利标题: 一种单晶炉泄压调节设备
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申请号: CN202311530683.7申请日: 2023-11-16
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公开(公告)号: CN117702250B公开(公告)日: 2024-08-27
- 发明人: 高树良 , 李小锋 , 曹玉宝 , 周敏 , 张怿 , 常红亮
- 申请人: 连城凯克斯科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15号
- 专利权人: 连城凯克斯科技有限公司
- 当前专利权人: 连城凯克斯科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15号
- 代理机构: 无锡亿联盛知识产权代理有限公司
- 代理商 李晶晶
- 主分类号: C30B15/20
- IPC分类号: C30B15/20 ; C30B29/06
摘要:
本发明属于单晶炉技术领域,具体的说是一种单晶炉泄压调节设备,包括主炉室;所述主炉室顶面固连有副室;所述副室的顶面安装有上炉筒;所述副室用分隔主炉室和上炉筒;所述主炉室的底面固连有下炉室;所述主炉室的底面开设有一对排气孔;所述排气孔内设置有顶杆;所述下炉室内部的底面于顶杆对应位置处固连有套筒;所述套筒的内部安装有压强传感器,且压强传感器与外部微电脑连接,用于控制外部气压组件;所述顶杆的表面固连有密封圈;通过主炉室内的气体会挤压顶杆,进而使顶杆挤压套筒内的气体,使得套筒的内压强增大,并被压强传感器检测到后,控制排气孔开启,使得主炉室内激增的气体,得以被抽入下炉室内,进而完成对主炉室的泄压。
公开/授权文献
- CN117702250A 一种单晶炉泄压调节设备 公开/授权日:2024-03-15
IPC分类: