一种单晶炉泄压调节设备
摘要:
本发明属于单晶炉技术领域,具体的说是一种单晶炉泄压调节设备,包括主炉室;所述主炉室顶面固连有副室;所述副室的顶面安装有上炉筒;所述副室用分隔主炉室和上炉筒;所述主炉室的底面固连有下炉室;所述主炉室的底面开设有一对排气孔;所述排气孔内设置有顶杆;所述下炉室内部的底面于顶杆对应位置处固连有套筒;所述套筒的内部安装有压强传感器,且压强传感器与外部微电脑连接,用于控制外部气压组件;所述顶杆的表面固连有密封圈;通过主炉室内的气体会挤压顶杆,进而使顶杆挤压套筒内的气体,使得套筒的内压强增大,并被压强传感器检测到后,控制排气孔开启,使得主炉室内激增的气体,得以被抽入下炉室内,进而完成对主炉室的泄压。
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