本申请提供一种柔性部件监测方法、系统、介质及电子设备，应用于超洁净流控元件，超洁净流控元件包括柔性部件；所述柔性部件监测方法包括：获取柔性磁膜的目标磁场强度数据；目标磁场强度数据包括多个目标磁场强度；柔性磁膜在不影响柔性部件正常工作的前提下，与柔性部件贴合；柔性磁膜的形变与柔性部件的形变保持一致；根据多个目标磁场强度对柔性磁膜的变形场进行重构，以间接实现对柔性部件的监测；本申请提供了一种柔性部件的监测方法，通过使该柔性磁膜的形变与该柔性部件的形变保持一致，进而通过获取柔性磁膜对应不同离散测量点下的磁场强度，实现对柔性磁膜变形场进行重构，从而间接实现对柔性部件的监测。