六氟化硫及其混合气体分离提纯系统，本发明要解决现有六氟化硫及其混合气体分离效率较低的问题。本发明分离提纯系统中第一支管和第二支管并联在进气管上，第二支管的另一端与精馏提纯塔的进气口相连，在第二支管上依次设置有减压阀、二号电磁阀、第三压缩机、单向阀、第二风冷机和第二控制阀，沿气体流动方向在第一支管上依次设置有一号电磁阀、混气暂存罐、三号电磁阀、二号稳压阀、过滤器组、加热器和两级分离膜装置，第一连接管的一端与第二级分离膜装置的一号出气口相连，第一连接管的另一端与精馏提纯塔的进气口相连。本发明能够根据进气中SF6气体的浓度进行不同的分离提纯流程，排放的N2中的SF6气体含量控制在0.01％以下。