本发明涉及化工技术领域，提出了一种同时生产高纯度三氯氢硅和四氯化硅的方法，包括以下步骤：S1：向氮气保护下的硅粉中通入氯化氢气体，加入负载型催化剂进行反应，得到反应物；S2：将反应物进行干法除尘，得到除尘后的反应物；S3：将除尘后的反应物进行冷凝，得到冷凝产物；S4：将冷凝产物进行精馏分离分别得到第一分离产物、第二分离产物、第三分离产物；S5：分别向第二分离产物和第三分离产物中加入吸附剂吸附杂质后，得到高纯度的三氯氢硅和四氯化硅产物。通过上述技术方案，解决了现有技术中的生产三氯氢硅和四氯化硅的成本高、工艺复杂、不利于工业化生产以及三氯氢硅和四氯化硅产物纯度低的问题。