本发明公开了一种散热盖贴装工艺中的贴装精度控制方法，包括以下步骤：S1、校准吸嘴的平面度；S2、利用标定板对下视相机进行标定；S3、通过吸嘴吸取标定板，再利用标定板对上视相机进行标定；S4、利用上视相机对吸嘴中心以及吸嘴的旋转中心进行标定；S5、获取上视相机中心与吸嘴中心之间的第一偏差值，以及吸嘴旋转产生的第二偏差值；S6、利用第一偏差值和第二偏差值对散热盖贴装位置进行补偿。本方法通过对吸嘴平面度进行校准，再利用第一偏差值和第二偏差值对贴装位置进行补偿，能够提高散热盖与芯片基板之间的贴装精度，从而提高产品的合格率。