本发明涉及一种稀土掺杂的氧化镓波导放大器、制备方法及平面波导，该氧化镓波导放大器应用掺杂有稀土离子的氧化镓作为波导层，以在将掺杂有稀土离子的氧化镓作为波导层沉积到光学基片上后，利用刻蚀有波导结构且未掺杂的光限制层对该波导层做出光限制，这样不需要直接在掺杂有稀土离子的氧化镓上刻蚀波导，而是改变常规思路，在易于刻蚀的未掺杂的光限制层上刻蚀有波导结构，如此，实现了利用未掺杂的光限制层提供光限制以及利用掺杂稀土的氧化镓作为波导层来提供光放大效果，从而最大限度地增强光与有源介质之间的相关作用，满足了光器件的放大性能需求。