Invention Grant

声表面波装置及其制造方法
Abstract:
本发明提供了一种声表面波装置,其特征在于包含压电基片,具有设置在所述压电基片上的至少一个叉指式换能器的第一声表面波元件,具有设置在所述压电基片上的至少一个叉指式换能器的第二声表面波元件。第二声表面波元件的至少一个叉指式换能器的厚度不同于第一声表面波元件的叉指式换能器的厚度,并且第二声表面波元件的频率特性不同于第一声表面波元件。将绝缘薄膜提供给第一和第二声表面波元件。在第一声表面波元件上的区域的绝缘薄膜的厚度不同于第二声表面波元件上的区域的厚度。
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