本发明公开了一种MEMS热式流量传感器用密封圈的制备方法，属于密封圈加工技术领域。本发明用于解决现有技术中MEMS热式流量传感器使用的密封圈的硬度大，密封圈的压缩永久形变受温度影响大和现有的MEMS热式流量传感器用的密封圈的耐化学性能有待进一步提高的技术问题，一种MEMS热式流量传感器用密封圈的制备方法，包括以下步骤：将负载蛭石粉、无水乙醇、3‑氨基丙基三乙氧基硅烷加入到三口烧瓶中搅拌，三口烧瓶温度升高至50‑60℃。本发明不仅有效的提高了密封圈材料的拉伸性能与柔韧性，还提高了材料的耐高低温性能，在低温和高温环境中保持着良好的回弹效果的同时，提高了密封圈材料耐化学性能和热空气老化性能。