本发明属于太阳能电池技术领域，尤其涉及一种钙钛矿薄膜太阳能电池的制备方法。其中电荷传输层使用原子层沉积方式形成于所述衬底上，具体包括如下步骤：S01.将衬底置于反应室内，并抽真空，然后升温并保持；S02.将氮前驱体和镓前驱体混合，然后正向吹扫，接着逆向吹扫，接着正向吹扫；S03.通入惰性吹扫气吹扫;S04.将步骤S02‑S03循环若干周期后，完成沉积过程。通过在ALD沉积过程中前驱体正向、逆向吹扫结合，使得在保持GaN膜均匀性的同时，大大提升沉积效率，从而提高太阳能电池的生产效率。