铜栅线硅异质结电池的边缘钝化方法及装置
摘要:
本公开提出一种铜栅线硅异质结电池的边缘钝化方法及装置,涉及电池技术领域。包括:对铜栅线硅异质结电池进行切片,以获取多个电池分片;将由多个电池分片堆叠形成的电池垛,转移至化学气相沉积设备中;在预设时间段内,向化学气相沉积设备内通入氢气,其中,第一氢气流量为5000‑25000sccm;在电池垛中每个电池分片的切片断面处沉积本征非晶硅薄膜,以获取边缘钝化的电池分片,其中,本征非晶硅薄膜的沉积温度为80‑120℃。由此,可以在低温下对铜栅线硅异质结电池分片的切片断面进行钝化处理,保证铜栅线硅异质结电池分片及铜电极在不受影响的前提下,降低铜栅线硅异质结电池分片的切片断面的载流子复合速率,改善钝化效果,提高了切片铜栅线硅异质结电池的效率。
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