发明公开
- 专利标题: 铜栅线硅异质结电池的边缘钝化方法及装置
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申请号: CN202210603453.8申请日: 2022-05-30
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公开(公告)号: CN117199169A公开(公告)日: 2023-12-08
- 发明人: 赵晓霞 , 王伟 , 田宏波 , 王彩霞 , 宗军 , 孙金华 , 范霁红
- 申请人: 国家电投集团科学技术研究院有限公司 , 国家电投集团新能源科技有限公司
- 申请人地址: 北京市昌平区未来科技城国家电投集团科学技术研究院有限公司院内A座8层至11层
- 专利权人: 国家电投集团科学技术研究院有限公司,国家电投集团新能源科技有限公司
- 当前专利权人: 国家电投集团科学技术研究院有限公司,国家电投集团新能源科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区未来科技城国家电投集团科学技术研究院有限公司院内A座8层至11层
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 罗岚
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18
摘要:
本公开提出一种铜栅线硅异质结电池的边缘钝化方法及装置,涉及电池技术领域。包括:对铜栅线硅异质结电池进行切片,以获取多个电池分片;将由多个电池分片堆叠形成的电池垛,转移至化学气相沉积设备中;在预设时间段内,向化学气相沉积设备内通入氢气,其中,第一氢气流量为5000‑25000sccm;在电池垛中每个电池分片的切片断面处沉积本征非晶硅薄膜,以获取边缘钝化的电池分片,其中,本征非晶硅薄膜的沉积温度为80‑120℃。由此,可以在低温下对铜栅线硅异质结电池分片的切片断面进行钝化处理,保证铜栅线硅异质结电池分片及铜电极在不受影响的前提下,降低铜栅线硅异质结电池分片的切片断面的载流子复合速率,改善钝化效果,提高了切片铜栅线硅异质结电池的效率。
IPC分类: