本申请提出一种风速测量装置，用于测量气帘装置的出风口处的风速，所述气帘装置位于晶圆盒的开口处，所述晶圆盒内设置有若干用于收容晶圆的容纳槽，所述风速测量装置包括：固定件，设置于所述晶圆盒内的至少一个所述容纳槽内；及风速计模组，设置于所述固定件上，所述风速计模组包括感测器，所述感测器伸出所述晶圆盒且位于所述气帘装置的下方，用于测量所述气帘装置出风口处的风速。本申请通过将固定件与风速计模组设置在一起以形成风速测量装置，并将风速测量装置设置于晶圆盒内，再将感测器伸出晶圆盒至气帘装置的下方，以实现测量气帘装置出风口处的风速。