一种用于晶圆的清洗装置，属于晶圆清洗技术领域，为了解决现有的晶圆清洗装置对晶圆的清洗效果不佳，对晶圆的后续加工造成不利影响的技术问题，一种用于晶圆的清洗装置，本发明通过升降组件、安装板、转动组件、清洁组件、控制部和喷淋组件，首先将晶圆吸附在吸盘头上端，随后通过第三电动伸缩杆将晶圆浸没在清洗池内部的清洁液中，再通过电机转动使得晶圆转动，同时通过第一刷条和第二刷条将晶圆外表面附着的污染物清洗干净，再通过第三电动伸缩杆使得安装板上升与清洁液分离，通过喷头将清洁液喷洒至旋转的晶圆上端，能够将晶圆脱离液面时上端残留的污染物冲洗干净，能够实现对晶圆的有效清洗，提升了对晶圆的清洗效果。