相位光栅及其制造方法、光学编码器、使用光学编码器的电动机及使用该电动机的机械手
摘要:
一种其凹部基本上为矩形形状的相位光栅,光栅深度比通过等式:丨n-no丨×(p-d′/e)/p×d′=(λ/2)×(1+2m),(其中,m=0,±1,±2,…)计算得到的深度d′为更深一个规定范围内的值,所述深度d′取决于因相位光栅的衍射产生部分干涉的光的波长λ、相位光栅的间距长度p、相位光栅之基料的折射率n、相位光栅周围介质的折射率no、以及作为光栅深度与光栅凹部斜面宽度之比的形态比e。
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