发明公开
CN116899977A 一种芯片除尘设备
审中-公开
- 专利标题: 一种芯片除尘设备
-
申请号: CN202310974034.X申请日: 2023-08-03
-
公开(公告)号: CN116899977A公开(公告)日: 2023-10-20
- 发明人: 杜洪化 , 唐拓 , 夏良 , 贺京峰 , 陈建波 , 朱炳浩
- 申请人: 东莞市崴泰电子有限公司 , 贵州振华风光半导体股份有限公司
- 申请人地址: 广东省东莞市南城街道东莞大道南城段428号寰宇汇金中心8栋708室;
- 专利权人: 东莞市崴泰电子有限公司,贵州振华风光半导体股份有限公司
- 当前专利权人: 东莞市崴泰电子有限公司,贵州振华风光半导体股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市南城街道东莞大道南城段428号寰宇汇金中心8栋708室;
- 代理机构: 北京卓恒知识产权代理事务所
- 代理商 杜伟轩
- 主分类号: B08B5/02
- IPC分类号: B08B5/02 ; B08B5/04 ; B08B13/00
摘要:
本发明涉及芯片生产技术领域,尤其是一种芯片除尘设备;包括机架、除尘壳体、除尘治具和除尘机构;所述机架上安装有除尘壳体、除尘治具和除尘机构,所述除尘壳体围合形成内部腔体结构,所述除尘治具和除尘机构安装在腔体内部,所述腔体的一端设置有排气口;所述除尘机构至少包含有两个相对设置的出风部件,其中一个所述出风部件上设置有可变向的出风口;所述出风部件用于向放置在除尘治具内的芯片吹风除尘;本设备通过研发后,能够有效对芯片进行除尘,不仅除尘质量好,提升芯片后续的使用质量,而且,无需人工操作,进而减少人工成本,同时,生产效率较高,自动化程度高,有利于企业进行大规模生产。
IPC分类: