本发明公开了一种固态功率配电单元故障诊断方法、系统及设备，涉及电力电子产品的故障诊断领域，该方法包括：构建固态功率配电单元电热耦合模型；基于所述固态功率配电单元电热耦合模型，采集正常情况和不同故障类型发生时的信号，构建故障信号数据集；使用MATLAB构建PCA‑ELM模型，并采用所述故障信号数据集对所述PCA‑ELM模型进行训练；通过训练好的PCA‑ELM模型对实际固态功率配电单元的实测信号进行故障诊断。本发明通过模拟电热耦合效应准确模拟固态功率配电单元电路的真实工作状态，将电信号和温度信息同时用于故障诊断，从而提高诊断结果的准确性。