一种液态有机物微米级雾化蒸发镀膜系统
Abstract:
本申请涉及有机物蒸发镀膜技术领域,具体而言,涉及一种液态有机物微米级雾化蒸发镀膜系统,包括单体存储装置、液体流量控制装置、磁致伸缩型增压泵装置、微米级雾化装置以及蒸发源装置,其中:单体存储装置通过管路与液体流量控制装置连接;液体流量控制装置通过管路和电磁阀与磁致伸缩型增压泵装置连接;磁致伸缩型增压泵装置通过管路与微米级雾化装置连接;微米级雾化装置通过管路与蒸发源装置连接。本申请能够制备出厚度均匀可控,表面光滑平整的有机物薄膜,并且可以连续量产化蒸发镀制,结构简单,使用方便,薄膜的制备效率较高。
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