Invention Publication
- Patent Title: 一种液态有机物微米级雾化蒸发镀膜系统
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Application No.: CN202310925121.6Application Date: 2023-07-26
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Publication No.: CN116695067APublication Date: 2023-09-05
- Inventor: 冯尔鹏 , 董茂进 , 韩仙虎 , 蔡宇宏 , 冯煜东 , 王小军 , 王毅 , 秦丽丽 , 王冠 , 马凤英
- Applicant: 兰州空间技术物理研究所
- Applicant Address: 甘肃省兰州市城关区飞雁街100号
- Assignee: 兰州空间技术物理研究所
- Current Assignee: 兰州空间技术物理研究所
- Current Assignee Address: 甘肃省兰州市城关区飞雁街100号
- Agency: 北京元理果知识产权代理事务所
- Agent 饶小平
- Main IPC: C23C14/24
- IPC: C23C14/24 ; C23C14/12 ; C23C14/54

Abstract:
本申请涉及有机物蒸发镀膜技术领域,具体而言,涉及一种液态有机物微米级雾化蒸发镀膜系统,包括单体存储装置、液体流量控制装置、磁致伸缩型增压泵装置、微米级雾化装置以及蒸发源装置,其中:单体存储装置通过管路与液体流量控制装置连接;液体流量控制装置通过管路和电磁阀与磁致伸缩型增压泵装置连接;磁致伸缩型增压泵装置通过管路与微米级雾化装置连接;微米级雾化装置通过管路与蒸发源装置连接。本申请能够制备出厚度均匀可控,表面光滑平整的有机物薄膜,并且可以连续量产化蒸发镀制,结构简单,使用方便,薄膜的制备效率较高。
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