Invention Publication
- Patent Title: 抛光组合物及其制备方法和用途
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Application No.: CN202310978520.9Application Date: 2023-08-04
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Publication No.: CN116694233APublication Date: 2023-09-05
- Inventor: 赵延 , 张存瑞 , 周薇 , 杨斌
- Applicant: 包头天骄清美稀土抛光粉有限公司
- Applicant Address: 内蒙古自治区包头市稀土高新区校园路东39号
- Assignee: 包头天骄清美稀土抛光粉有限公司
- Current Assignee: 包头天骄清美稀土抛光粉有限公司
- Current Assignee Address: 内蒙古自治区包头市稀土高新区校园路东39号
- Agency: 北京悦成知识产权代理事务所
- Agent 樊耀峰; 安平
- Main IPC: C09G1/02
- IPC: C09G1/02 ; H01L21/321
Abstract:
本发明公开了一种抛光组合物及其制备方法和用途，基于抛光组合物的总重量，抛光组合物包括如下组分：研磨颗粒0.2～12wt%，聚(甲基)丙烯酸盐0.01～10wt%，C5‑C12多元醇0.1～28wt%，和C2‑C8羧酸0.5～5wt%。本发明的抛光组合物可用于有效地抛光ITO层，并且相对于抛光停止层可以具有较高的抛光速率以及抛光选择比。
Public/Granted literature
- CN116694233B 抛光组合物及其制备方法和用途 Public/Granted day:2023-11-24
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