发明授权
- 专利标题: 一种波前干涉测量系统及方法
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申请号: CN202310668606.1申请日: 2023-06-06
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公开(公告)号: CN116608792B公开(公告)日: 2023-11-28
- 发明人: 周辉
- 申请人: 芜湖达辉生物科技有限公司
- 申请人地址: 安徽省芜湖市中国(安徽)自由贸易试验区芜湖片区银湖北路软件园206室
- 专利权人: 芜湖达辉生物科技有限公司
- 当前专利权人: 芜湖达辉生物科技有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省芜湖市中国(安徽)自由贸易试验区芜湖片区银湖北路软件园206室
- 代理机构: 深圳市科进知识产权代理事务所
- 代理商 张俊锋
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24 ; G01J9/02
摘要:
本申请提供的波前干涉测量系统,包括:可调谐激光器(1)、He‑Ne激光器(2)、第一二向色镜第二准直透镜(7)、第一分束镜(8)、第二分束镜(9)、第三准直透镜(10)、空间光调制器(11)、光圈(12)、第一相机物镜(13)、像素移位偏振测量装置(14)、离轴反射镜(15)、标准参考面(16)、半透半反镜(18)、毛玻璃屏(19)、第二相机物镜(20)、相机(21)及计算机单元(22),上述系统实现共光路测量,避免了非共光路误差,提高了系统的检测精度和抗干扰能力。另外,本申请还提供了一种波前干涉测量方法。(3)、偏振片(4)、第一准直透镜(5)、滤波器(6)、
公开/授权文献
- CN116608792A 一种波前干涉测量系统及方法 公开/授权日:2023-08-18