一种波前干涉测量系统及方法
摘要:
本申请提供的波前干涉测量系统,包括:可调谐激光器(1)、He‑Ne激光器(2)、第一二向色镜第二准直透镜(7)、第一分束镜(8)、第二分束镜(9)、第三准直透镜(10)、空间光调制器(11)、光圈(12)、第一相机物镜(13)、像素移位偏振测量装置(14)、离轴反射镜(15)、标准参考面(16)、半透半反镜(18)、毛玻璃屏(19)、第二相机物镜(20)、相机(21)及计算机单元(22),上述系统实现共光路测量,避免了非共光路误差,提高了系统的检测精度和抗干扰能力。另外,本申请还提供了一种波前干涉测量方法。(3)、偏振片(4)、第一准直透镜(5)、滤波器(6)、
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