发明公开
CN116519047A 一种半导体芯片检测装置
审中-实审
- 专利标题: 一种半导体芯片检测装置
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申请号: CN202310318831.2申请日: 2023-03-29
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公开(公告)号: CN116519047A公开(公告)日: 2023-08-01
- 发明人: 陈彦为 , 刘元英 , 邵玉坤 , 韩刚 , 李超赛
- 申请人: 江苏华芯智造半导体有限公司
- 申请人地址: 江苏省徐州市睢宁县双沟镇金山路7号
- 专利权人: 江苏华芯智造半导体有限公司
- 当前专利权人: 江苏华芯智造半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省徐州市睢宁县双沟镇金山路7号
- 代理机构: 徐州新知科服知识产权代理有限公司
- 代理商 滕悦梅
- 主分类号: G01D21/02
- IPC分类号: G01D21/02 ; G01N21/956 ; G01B21/08 ; G01N1/34
摘要:
本发明涉及半导体芯片生产技术领域,具体的公开了一种半导体芯片检测装置,包括底座和两个滑动板,两个滑动板均安装底座顶部,两个滑动板顶部均安装第一伸缩板,两个第一伸缩板之间设有转动机构,转动机构包括两个转动块,两个转动块均安装夹爪,两个第一伸缩板设有检测机构,两个滑动板设有清洁机构,两个滑动板顶部设有收集机构。该发明中,通过设置的转动机构,可将芯片通过人工或上料设备放置在两个相配合的夹爪之间,由两个夹爪对芯片进行限位固定后,在转动块本体带动芯片进行转动的同时由工业相机和厚度传感器对芯片的外观和厚度进行同步检测,使得检测装置对芯片多项数据进行检测,进而提高芯片的检测效率。