用于加工透明工件的方法包括：引导沿着射束路径定向的激光射束通过非球面光学元件和透明工件。激光射束以激光射束的1/e2直径的30％或更大的偏移距离从非球面光学元件的中心线轴线径向偏移地冲击非球面光学元件。射束路径和透明工件相对于彼此倾斜，使得射束路径在冲击表面处具有相对于冲击表面小于90°的射束路径角，并且被引导到透明工件中的激光射束的部分是具有相对于冲击表面小于80°的内部焦线角的激光射束焦线，使得通过透明工件内的诱导吸收而形成具有小于80°的缺陷角的缺陷。