一种料盒承载平台、控制方法及半导体设备
摘要:
本发明涉及半导体设备技术领域,提供了一种料盒承载平台,电机组件与同步带轮组件安装在安装平板上,通过电机组件与同步带轮组件带动承载板旋转,角度调节组件安装在同步带轮组件的第二轮组处,角度调节组件包括金属折板、环形轨道、第一传感器及第二传感器,金属折板安装在第二轮组的轴承上且金属折板上包括第一指针及第二指针,环形轨道绕第二轮组一周而设,第一指针及第二指针分别用于触发第一传感器及第二传感器,第一传感器与第二传感器以第二轮组的轴心所成夹角是承载板旋转的角度。实现了料盒的360°旋转,解决了因OHT轨道与处理设备在水平面投影存在夹角,料盒无法直接转运的问题。
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