本公开提供一种用于坐标测量仪器的热平衡模块，坐标测量仪器包括光学机构，光学机构包括可绕第一轴线旋转的光学主体，热平衡模块为将光学机构维持在预设的热平衡状态以使同一梯度的温度一致的热平衡模块，包括：多个加热模块、用于测量温度的多个监测模块以及根据由多个监测模块获得的温度来控制多个加热模块的温控模块，多个监测模块包括多个监测单元，监测单元的位置关于第一轴线对称分布，温控模块根据监测单元所获得的同一梯度的温度控制多个加热模块使得同一梯度的温度一致。由此，能够实现坐标测量仪器的热平衡状态。