本发明涉及一种共面电容传感器的扫描成像性能评估方法及系统，属于共面电容传感器领域，解决了现有技术中对同面电容传感器的扫描成像性能进行评估需要耗费大量时间的问题。本发明的一种面电容传感器的扫描成像性能评估方法，包括：获取目标传感器在预设探测深度的面层上的灵敏度分布图；提取所述面层的灵敏度分布图中的高灵敏度集中区域作为元图像；根据所述元图像评估所述目标传感器在所述面层的扫描成像性能。本发明提出的元图像，能够反应共面电容传感器与其在相应的探测深度的重建图像质量之间的关联，根据元图像直接评估共面电容传感器的扫描成像性能，从而能够起到节约时间和提高评估效率的效果。