垂直腔面发射激光器、探测设备及探测系统
摘要:
本申请提供一种垂直腔面发射激光器、探测设备及探测系统,涉及半导体技术领域,其中,该垂直腔面发射激光器包括:发光模组和开关模组;开关模组设置在发光模组的第二分布式布拉格反射器的第一表面,第二分布式布拉格反射器的第一表面为第二分布式布拉格反射器远离衬底的表面;发光模组的第一电极或第二电极,与开关模组的第一输入输出电极或第二输入输出电极相连接。本申请提供的技术方案中,VCSEL可以基于开关模组所具备的开关功能,控制发光模组发出激光或熄灭,无需在VCSEL连接的驱动电路中设置开关模块,从而可以减少驱动电路所占用的面积,进而可以减少基于VCSEL和驱动电路所组成的器件所占用的面积,可以提高VCSEL的便携性和灵活性。
0/0