本发明涉及光刻机技术领域，尤其为一种光刻机光源头水冷组件，包括光源主体、水冷装置、水循环装置和导热装置，所述光源主体一侧与水冷装置固定连接，所述水冷装置另一侧与水循环装置固定连接，所述水循环装置一侧固定连接有散热主体，所述导热装置在水循环装置内呈均匀分布，所述水冷装置包括第一盖板、第一挡水主体和第二挡水主体，所述第一盖板一侧固定连接有第二盖板，所述第二盖板与光源主体固定连接，本发明中，通过设置的通过设置的第一盖板、第二盖板、导热板、第一挡水架、第二挡水架、第一密封条、第一挡水杆、第二挡水杆、第二密封条和出水孔，可以通过其形成的空腔对冷却液进行引导，使冷却液可以有方向的流动，提高散热效果。