一种激光直写曝光机光源

    公开(公告)号:CN118409477B

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202410817832.6

    申请日:2024-06-24

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明属于激光曝光技术领域,具体的说是一种激光直写曝光机光源,包括曝光模块,曝光模块的前端设有曝光窗口,曝光模块的下端设有底座框架,底座框架的内部设有调控装置,且调控装置设在曝光模块的下端;调控装置包括:放置平台,放置平台设在底座框架的表面。通过设置第一伸缩罩与第二伸缩罩,在曝光之前,启动调节杆,调节杆将会带着第一伸缩罩向下移动,在移动一段距离之后,放置平台将会向上移动,最终放置平台将会移动到第一伸缩罩的内部,就可以使得曝光所用的基片处于黑暗的环境中,从而避免受到外部光线的影响,且位于第二伸缩罩内部的反射镜也将会被打开,从而可以反射更多的光线,增加曝光亮度,提高曝光效果。

    液晶盒及制作方法及空间光调制器和空间光调制系统

    公开(公告)号:CN111913317B

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202010856393.1

    申请日:2020-08-24

    摘要: 本发明公开了一种液晶盒,包括下玻璃基片和上玻璃基片,下玻璃基片的上表面镀有银膜层,上玻璃基片的下表面设置有ITO透明电极层,ITO透明电极层的下表面设置有液晶配向层,液晶配向层的配向方向与ITO透明电极层的电极条纹方向垂直;液晶配向层的下表面和银膜层的上表面之间固定有支架层,支架层、液晶配向层和银膜层共同围成了液晶填充空间,液晶填充空间填充有液晶层,ITO透明电极层与银膜层之间连接信号发生器。本发明还公开了该液晶盒的制作方法和使用该液晶盒的空间光调制器和空间光调制系统,该空间光调制系统采用等离子体共振和液晶光栅相结合滤除0级衍射光,输出±1级次的衍射光。

    一种光刻机光源头水冷组件

    公开(公告)号:CN116300343A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310583606.1

    申请日:2023-05-23

    发明人: 庞超群 谭军 曹彬

    摘要: 本发明涉及光刻机技术领域,尤其为一种光刻机光源头水冷组件,包括光源主体、水冷装置、水循环装置和导热装置,所述光源主体一侧与水冷装置固定连接,所述水冷装置另一侧与水循环装置固定连接,所述水循环装置一侧固定连接有散热主体,所述导热装置在水循环装置内呈均匀分布,所述水冷装置包括第一盖板、第一挡水主体和第二挡水主体,所述第一盖板一侧固定连接有第二盖板,所述第二盖板与光源主体固定连接,本发明中,通过设置的通过设置的第一盖板、第二盖板、导热板、第一挡水架、第二挡水架、第一密封条、第一挡水杆、第二挡水杆、第二密封条和出水孔,可以通过其形成的空腔对冷却液进行引导,使冷却液可以有方向的流动,提高散热效果。

    一种具有多角度调节的光学仪器平台

    公开(公告)号:CN115264317B

    公开(公告)日:2022-12-20

    申请号:CN202211196114.9

    申请日:2022-09-29

    摘要: 本发明涉及光学仪器技术领域,具体是涉及一种具有多角度调节的光学仪器平台,包括底座、调节装置和外壳;第一转动装置为环形结构,第一转动装置设置在外壳内;第二转动装置设置在第一转动装置上,第一转动装置用于带动第二转动装置转动;放置台为圆盘结构,放置台设置在第二转动装置的输出端上;多个夹持装置围绕放置台的轴线均匀的贯穿设置在放置台上;移动装置设置在夹持装置的一侧;陀螺仪设置在放置台的底部,陀螺仪用于监测放置台的空间位置状态;驱动装置设置在夹持装置内;测量装置设置在外壳的内壁上。使得光学仪器平台可以实现多角度的调节,同时还可以在平台出现倾斜时,保证任意尺寸的被观测物件都不会出现掉落的情况。

    一种光学仪器的调焦锁紧结构

    公开(公告)号:CN114779426B

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210714162.6

    申请日:2022-06-23

    发明人: 庞超群 谭军

    IPC分类号: G02B7/02 G02B7/00

    摘要: 本发明属于光学仪器技术领域,具体的说是一种光学仪器的调焦锁紧结构,包括锁紧架,所述锁紧架内部固定有导向柱,所述锁紧架与导向柱之间滑动连接有锁紧环,所述锁紧环内部开设有转向槽,所述转向槽靠近导向柱的一侧滑动连接有转向块,所述转向块靠近导向柱的一侧固定有传动杆,所述传动杆远离转向块的一端固定有挤压板,所述传动杆外部套接有复位弹簧;通过推动锁紧环带动转向块运动,进而带动挤压板运动直至挤压板与调焦组件接触并将其锁住,该锁紧结构施加锁紧力的方向与调焦组件的轴心方向一致,从而不会产生拨动调焦组件轴心的情况出现,这样在锁紧焦距的同时也有效的避免了施加偏转力使得光学仪器镜头轴心偏移的情况。

    一种光学仪器的角度调节机构

    公开(公告)号:CN113719718B

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202111271170.X

    申请日:2021-10-29

    发明人: 庞超群

    摘要: 本发明公开了一种光学仪器的角度调节机构,涉及光学仪器技术领域。本发明包括底座,所述底座的顶部远离底座中心处固定有中空板,所述中空板有两个,两个所述中空板之间固定有横板,所述横板的顶部固定有连杆,所述连杆的顶部铰接有承载板,所述承载板的左侧和右侧分别设置有辅助固定装置,所述底座的顶部远离底座中心处设置有调节装置,所述底座的底部设置有车轮装置。本发明通过齿轮与双向齿板配合,在转杆带动齿轮转动过程中,双向齿板向上或者向下移动,使得双向齿板调节光学仪器的角度,从而避免了光学仪器的角度调节机构,光学仪器上下移动的幅度较小,调节速度慢的问题,进而提高了光学仪器的调节的工作效率。

    一种可调节的光学仪器定位装置

    公开(公告)号:CN113703122B

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202111260558.X

    申请日:2021-10-28

    发明人: 庞超群

    IPC分类号: G02B7/00 B08B17/04 B08B7/02

    摘要: 本发明公开了一种可调节的光学仪器定位装置,涉及机械技术领域。包括调节杆,所述调节杆滑动安装于支撑杆顶部,所述调节杆顶部固定安装有仪器支架,所述支撑杆底部嵌固于定位底座顶部,所述支撑杆外壁固定安装有保护罩,所述保护罩顶部活动安装有清洁罩,所述清洁罩外壁与保护罩外壁之间通过弹片弹性连接,所述保护罩上固定开设有防尘散热孔。该可调节的光学仪器定位装置,通过在支撑杆上设置有保护罩,可以有效的对风沙进行阻隔,同时通过设置有清洁罩,清洁罩顶部可以对调节杆的外壁进行灰尘刮除操作,防止灰尘对调节杆的调节造成影响,同时保护罩上开设有防尘散热孔,避免保护罩内部与调节杆之间形成密闭环境。

    一种工业固化用高光功率紫光LED

    公开(公告)号:CN113725204A

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN202111268684.X

    申请日:2021-10-29

    发明人: 庞超群

    摘要: 本发明公开了一种工业固化用高光功率紫光LED,涉及紫光LED技术领域。该工业固化用高光功率紫光LED包括保护外壳,所述保护外壳内壁底部固定有两个对称设置的基座,两个所述基座顶部分别电性连接有两个功率不同的紫光芯片,两块所述紫光芯片之间通过键合金丝连接。该工业固化用高光功率紫光LED,通过设置两个功率不同的紫光芯片可以提高本LED的适用范围,并且设置四块厚度不同的透镜可以实现对紫光芯片照射出的紫外光进行不同的聚光操作,在适用于不同的材料进行固化时,该装置可以通过调节活动封闭板的转动角度来实现本LED发出紫光的不同强度和功率,从而提高本LED的适用范围,进而降低紫光芯片和透镜的更换频率。

    一种光学仪器的角度调节机构

    公开(公告)号:CN113719718A

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN202111271170.X

    申请日:2021-10-29

    发明人: 庞超群

    摘要: 本发明公开了一种光学仪器的角度调节机构,涉及光学仪器技术领域。本发明包括底座,所述底座的顶部远离底座中心处固定有中空板,所述中空板有两个,两个所述中空板之间固定有横板,所述横板的顶部固定有连杆,所述连杆的顶部铰接有承载板,所述承载板的左侧和右侧分别设置有辅助固定装置,所述底座的顶部远离底座中心处设置有调节装置,所述底座的底部设置有车轮装置。本发明通过齿轮与双向齿板配合,在转杆带动齿轮转动过程中,双向齿板向上或者向下移动,使得双向齿板调节光学仪器的角度,从而避免了光学仪器的角度调节机构,光学仪器上下移动的幅度较小,调节速度慢的问题,进而提高了光学仪器的调节的工作效率。

    一种紫光LED发光装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113701090A

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202111260566.4

    申请日:2021-10-28

    发明人: 庞超群

    摘要: 本发明公开了一种紫光LED发光装置,涉及LED技术领域。本发明包括移动架,所述移动架的顶部活动安装有反光槽板,所述反光槽板的内部固定安装有紫光LED灯管,所述紫光LED灯管的外侧设置有清洁装置,所述反光槽板的内壁正面和背面设置有散热装置,所述反光槽板的右侧设置有调节装置。本发明通过齿轮与左侧圆环的外侧设置的齿环配合,使得齿轮带动圆环顺时针转动,圆环带动U形架跟着顺时针转动,从而使得U形架带动清洁刷跟着转动,清洁刷对紫光LED灯管外侧进行清洁,从而避免了在灰尘较多的区域,灰尘附着在紫光LED灯管上,造成紫光LED灯的亮度和照射率降低的问题,进而减少了人工对紫光LED灯管清洁的频率。