Invention Publication
CN116148640A 一种集成电路测试设备
无效 - 驳回
- Patent Title: 一种集成电路测试设备
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Application No.: CN202310421073.7Application Date: 2023-04-19
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Publication No.: CN116148640APublication Date: 2023-05-23
- Inventor: 赖泽联
- Applicant: 深圳市华芯邦科技有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区69区洪浪北二路30号信义领御研发中心1栋811
- Assignee: 深圳市华芯邦科技有限公司
- Current Assignee: 深圳市华芯邦科技有限公司
- Current Assignee Address: 广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区69区洪浪北二路30号信义领御研发中心1栋811
- Agency: 深圳市正德知识产权代理事务所
- Agent 杨正峰
- Main IPC: G01R31/28
- IPC: G01R31/28

Abstract:
本发明公开了一种集成电路测试设备,涉及集成电路测试技术领域,包括主体,所述主体顶部设置有两组移动架,两组所述移动架内部皆设置有与对应真空吸盘相配合的移动机构。本发明当其中一组真空吸盘带动晶圆进行测试时,另外一组真空吸盘可以对其余的一组晶圆进行上料或者下料,真空吸盘带动晶圆做环形运动的同时进行一定程度的自转,进而不论移动架在任何位置时,真空吸盘的接口皆朝向外侧,进而通过气体流通机构更加便捷的对真空吸盘进行供气,真空吸盘可以相对于移动架进行移动,进而便于外界测试设备对晶圆的任意位置进行测试,整体晶圆测试效率较高,有效提升了整体的工作效率,提高了测试效率。
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