Invention Publication

一种集成电路测试设备
Abstract:
本发明公开了一种集成电路测试设备,涉及集成电路测试技术领域,包括主体,所述主体顶部设置有两组移动架,两组所述移动架内部皆设置有与对应真空吸盘相配合的移动机构。本发明当其中一组真空吸盘带动晶圆进行测试时,另外一组真空吸盘可以对其余的一组晶圆进行上料或者下料,真空吸盘带动晶圆做环形运动的同时进行一定程度的自转,进而不论移动架在任何位置时,真空吸盘的接口皆朝向外侧,进而通过气体流通机构更加便捷的对真空吸盘进行供气,真空吸盘可以相对于移动架进行移动,进而便于外界测试设备对晶圆的任意位置进行测试,整体晶圆测试效率较高,有效提升了整体的工作效率,提高了测试效率。
Patent Agency Ranking
0/0