本发明实施例涉及硅基MEMS版图设计技术领域，公开了一种版图自动布孔方法、装置和终端设备。上述版图自动布孔方法包括：根据预设孔间距和待布孔区域面积，计算得到待布孔数量；根据待布孔数量，确定待布孔区域内的布孔坐标，其中，待布孔区域为版图上具有金属图形的区域；基于布孔坐标，调用接口程序在待布孔区域上进行布孔。通过计算算法自动确定待布孔坐标，有效避免了版图设计中设计人员手动布孔造成的布孔误差率高，布孔速度慢等问题，实现了自动化适应性布孔，大大提升了版图设计效率。