本发明公开了一种用于增强高温耐磨性的TiSiNiYN涂层，涉及表面涂层技术领域。该TiSiNiYN涂层以TiSiNiY合金靶进行电弧离子镀，在基底上沉积TiSiNiYN层；然后采用抛光膏进行抛光处理，制得的高温耐磨性的TiSiNiYN涂层具有良好的弹性模量及较低的表面粗糙度，且涂层与基底之间具有良好的结合力；另外本发明还提供了一种基底去污剂，经去污剂处理后的基底再用于涂层的制备，使得制备的TiSiNiYN涂层与基底之间具有更优的结合力。