本发明属于有机废液回收技术领域，具体涉及一种光刻去胶废液综合利用的方法。用硫酸水溶液使光刻去胶废液的中的乙醇胺、异丙醇胺转化为铵盐；然后送入刮板薄膜蒸发器进行减压蒸发，馏出液含水、二甲基亚砜、N‑甲基吡咯烷酮、二乙二醇；将馏出液送入脱轻精馏塔减压精馏，塔底采出二甲基亚砜、N‑甲基吡咯烷酮、二乙二醇的混合物；将混合物减压精馏，塔顶采出二甲基亚砜和N‑甲基吡咯烷酮混合品，塔底采出二乙二醇粗品；将二乙二醇粗品送入二乙二醇产品精馏塔减压精馏，塔顶采出二乙二醇。本发明从光刻去胶废液中回收得到N‑甲基吡咯烷酮和二甲基亚砜作为混合品使用以及高纯度的二乙二醇，在实现综合利用的前提下，减少设备投资，降低设备运行成本。