- 专利标题: 基于氦质谱检漏仪的检漏方法、装置、设备及介质
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申请号: CN202211509046.7申请日: 2022-11-29
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公开(公告)号: CN115931243B公开(公告)日: 2023-09-15
- 发明人: 渠欣 , 郝猛 , 宋海燕
- 申请人: 北京中科科仪股份有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村北二条13号
- 专利权人: 北京中科科仪股份有限公司
- 当前专利权人: 北京中科科仪股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村北二条13号
- 代理机构: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理商 周玉涛
- 主分类号: G01M3/20
- IPC分类号: G01M3/20 ; G01N15/08
摘要:
本申请是关于一种基于氦质谱检漏仪的检漏方法、装置、设备及介质,具体涉及真空检漏技术领域。该方法包括:获取不同漏率段分别对应的线性表达式,所述线性表达式中包括漏率与氦分子的渗透率之间的线性关系;在当前基于所述氦质谱检漏仪进行漏孔检测的情况下,将检测到的氦分子的渗透率记为第一渗透率;将所述第一渗透率代入不同漏率段分别对应的线性表达式进行比对,以确定当前的漏率。基于本技术方案,可以避免基于同一线性度进行漏率计算的不准确性,提高氦质谱检漏仪检测结果的可靠性。
公开/授权文献
- CN115931243A 基于氦质谱检漏仪的检漏方法、装置、设备及介质 公开/授权日:2023-04-07