基于氦质谱检漏仪的检漏方法、装置、设备及介质
摘要:
本申请是关于一种基于氦质谱检漏仪的检漏方法、装置、设备及介质,具体涉及真空检漏技术领域。该方法包括:获取不同漏率段分别对应的线性表达式,所述线性表达式中包括漏率与氦分子的渗透率之间的线性关系;在当前基于所述氦质谱检漏仪进行漏孔检测的情况下,将检测到的氦分子的渗透率记为第一渗透率;将所述第一渗透率代入不同漏率段分别对应的线性表达式进行比对,以确定当前的漏率。基于本技术方案,可以避免基于同一线性度进行漏率计算的不准确性,提高氦质谱检漏仪检测结果的可靠性。
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