发明公开
摘要:
本发明公开了一种适用于电压脉冲触发的超快速雪崩晶体管,包括由下至上设置的集电区电极、集电极区n+衬底层、集电极区n0外延层、p+基区层及n+发射区层,p+基区层旁设有环状深阱结构,深阱结构采用SiO2‑Si3N4;还包括基区电极和发射区电极,集电极区n0外延层的表面覆盖一层氧化层,氧化层上覆盖有金属场板,金属场板与基区电极接触,金属场板的底部穿过氧化层与p+基区层接触,n+发射区层表面覆盖一层掺氧半绝缘多晶硅层,发射区电极的底部穿过掺氧半绝缘多晶硅层与n+发射区层接触。本发明能有效提高雪崩晶体管在基射极短接,电压脉冲触发时的动态开通速度,优化基于雪崩晶体管的脉冲发生器的电压输出上升沿特性。
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