无凸块和无引线的半导体器件
摘要:
公开了一种半导体器件,包括:管芯,具有中央有源区、顶面、底面;侧壁,具有多个通孔,每个通孔从顶面的顶端延伸至底面的底端;顶面上的多个管芯焊盘,从中央有源区延伸至各自的顶端;底面上的图案化背面金属化层,包括延伸至相应底端的多个电隔离区域;金属涂层部分地填充通孔,并在多个管芯焊盘中的相应管芯焊盘和多个电隔离区域中的相应电隔离区域之间提供电连接;和钝化层,覆盖顶面和管芯焊盘。
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