发明授权
摘要:
本发明公开的磁悬浮平台位移机构,包括磁悬浮平台和控制模块,磁悬浮平台包括底座,底座上方依次设置有线圈阵列组件和永磁体阵列组件;本发明还公开了该磁悬浮平台位移机构的控制方法,主要是基于等效电流法和微元替代法的解析式求解方法,得到线圈在磁场的受力;然后,根据力和力矩的分析,得到矢量电流;最后,引入最小范数解求法,得到了每一时刻唯一的最小功率电流分配方案。本发明的磁悬浮平台位移机构为悬浮、位移分离式结构,同时采用MFAC‑PID控制器实现位移控制,其整体结构简单、易于制造,且具有位移可控性强、跟踪精度高的特点,可广泛应用于基础科学空间实验、精密工件制造和集成电路制造等领域。
公开/授权文献
- CN115903456A 磁悬浮平台位移机构及其控制方法 公开/授权日:2023-04-04
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