Invention Grant
- Patent Title: 一种逆流式新型复合微通道热沉
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Application No.: CN202211531072.XApplication Date: 2022-12-01
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Publication No.: CN115881666BPublication Date: 2023-09-05
- Inventor: 张井志 , 安俊 , 周乃香 , 王鑫煜 , 辛公明 , 雷丽 , 张冠敏 , 田茂诚
- Applicant: 山东大学
- Applicant Address: 山东省济南市历下区经十路17923号
- Assignee: 山东大学
- Current Assignee: 山东大学
- Current Assignee Address: 山东省济南市历下区经十路17923号
- Agency: 济南圣达知识产权代理有限公司
- Agent 李健康
- Main IPC: H01L23/473
- IPC: H01L23/473

Abstract:
本发明公开了一种逆流式新型复合微通道热沉,包括微通道基板、微通道盖板和上盖;所述微通道基板上设置多个长方形微通道,微通道基板与热源表面接触;所述微通道盖板上设置工质出口和工质入口,微通道盖板包括多个盖板,每个盖板上均设置流道;所述微通道基板与微通道盖板通过键合的方式密封连接;本发明将微通道盖板设置成各种不同结构的盖板,通过将冷却液进行各种分流,实现微通道内的流体纯逆流流动,实现温度分配的均匀性,减小了芯片各区域的温度差异,避免了芯片发生变形,提高了芯片的使用寿命。
Public/Granted literature
- CN115881666A 一种逆流式新型复合微通道热沉 Public/Granted day:2023-03-31
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IPC分类: