一种逆流式新型复合微通道热沉
Abstract:
本发明公开了一种逆流式新型复合微通道热沉,包括微通道基板、微通道盖板和上盖;所述微通道基板上设置多个长方形微通道,微通道基板与热源表面接触;所述微通道盖板上设置工质出口和工质入口,微通道盖板包括多个盖板,每个盖板上均设置流道;所述微通道基板与微通道盖板通过键合的方式密封连接;本发明将微通道盖板设置成各种不同结构的盖板,通过将冷却液进行各种分流,实现微通道内的流体纯逆流流动,实现温度分配的均匀性,减小了芯片各区域的温度差异,避免了芯片发生变形,提高了芯片的使用寿命。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0