发明公开
- 专利标题： 一种厚石英产品的退火方法
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申请号： CN202211474017.1申请日： 2022-11-22
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公开(公告)号： CN115745384A公开(公告)日： 2023-03-07
- 发明人: 顾永明 , 黄海鸥 , 李佳宇 , 秦一川
- 申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
- 申请人地址： 浙江省宁波市杭州湾新区华轩路161号数字经济产业园28栋
- 专利权人： 宁波云德半导体材料有限公司
- 当前专利权人： 宁波云德半导体材料有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省宁波市杭州湾新区华轩路161号数字经济产业园28栋
- 代理机构： 杭州五洲普华专利代理事务所
- 代理商 周炤隆
- 主分类号： C03B25/00
- IPC分类号： C03B25/00
摘要：
本发明公开了一种厚石英产品的退火方法，包括以下几个步骤：将经过火抛光后的厚石英产品放入退火炉内，在1100～1200℃的炉内温度下保温5.8～6.2h；在4.2～5.7h内将厚石英产品温度降低至780～810℃，之后随炉冷却至490～500℃后取出，完成退火，其中，厚石英产品为厚度不低于20mm的石英产品，控制厚石英产品在退火炉中的特定保温时间、特定降温速率，最大程度降低厚石英产品内部应力，避免产品开裂。
