本发明公开了一种试片加工精度检测装置及方法，试片加工精度检测装置包括测试平台、夹持组件、立柱和检验组件，夹持组件沿第一方向可滑动地设在测试平台上，夹持组件用于夹持试片，立柱连接在测试平台，检验组件沿第二方向可滑动地设在立柱上，第二方向与第一方向呈夹角设置，检验组件包括平面度测试件和粗糙度测试件，平面度测试件和粗糙度测试件可选择地配合在立柱上。该试片加工精度检测装置实际工作中能够一个检测工位上，通过调整平面度测试件、粗糙度测试件和夹持组件的位置快速完成试片平行度、垂直度及粗糙度的测量，检测过程简单直观、检测准确性和可靠度较高，检测速度更快，检测效率更高。