发明公开
- 专利标题： 一种稀土金属镀层扫描电镜截面试样精密磨样装置及方法
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申请号： CN202211028345.9申请日： 2022-08-25
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公开(公告)号： CN115389540A公开(公告)日： 2022-11-25
- 发明人: 雷震 , 李鸿亚 , 周利华 , 陈江 , 李文腾 , 牛书通 , 姜岳峰 , 华强 , 付天佐 , 王江 , 钟轶强 , 陈义武
- 申请人： 中核四0四有限公司
- 申请人地址： 甘肃省兰州市508信箱甲39号
- 专利权人： 中核四0四有限公司
- 当前专利权人： 中核四0四有限公司
- 当前专利权人地址： 甘肃省兰州市508信箱甲39号
- 代理机构： 北京八月瓜知识产权代理有限公司
- 代理商 张峰
- 主分类号： G01N23/2202
- IPC分类号： G01N23/2202 ; G01N23/2251
摘要：
本发明提供了一种稀土金属镀层扫描电镜截面试样精密磨样装置及方法，包括手套箱和磨样装置，所述磨样装置设置在所述手套箱内部，所述手套箱连接有氩气循环装置。本发明通过将磨样装置集成在手套箱内部，外接流动氩气来代替水的冷却作用而完成试样制备。该制备方法操作较简单、效率高，可有效解决稀土金属镀层在磨样和抛光过程中因水流的冲刷和反应而产生断裂、剥落、氧化及变质等问题，从而全面保留稀土金属镀层微观结构，有助于SEM表征分析。
