发明授权
- 专利标题: 一种压电器件及其制备方法
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申请号: CN202211276210.4申请日: 2022-10-19
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公开(公告)号: CN115342901B公开(公告)日: 2023-03-24
- 发明人: 王晨旭 , 荣畋 , 李剑锋 , 李迎春 , 王金龙 , 赵扬 , 罗清华 , 周志权 , 韩良 , 罗敏
- 申请人: 哈尔滨工业大学(威海)
- 申请人地址: 山东省威海市火炬高技术产业开发区文化西路2号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学(威海)
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学(威海)
- 当前专利权人地址: 山东省威海市火炬高技术产业开发区文化西路2号
- 代理机构: 威海佩敏专利代理事务所
- 代理商 宋益敏
- 主分类号: G01H11/08
- IPC分类号: G01H11/08 ; G01H3/00
摘要:
本申请属于水声测量及半导体器件技术领域,提供一种压电器件及其制备方法,所述压电器件包括第一压电模块、第二压电模块及导电平板;所述第一压电模块包括带有第一基底的第一阵列,所述第一阵列包括多个具有第一高度的第一压电柱;所述第二压电模块包括带有第二基底的第二阵列,所述第二阵列包括多个具有第二高度的第二压电柱;所述第一基底与所述第二基底的电极性相同,所述第一阵列的端面与所述第二阵列的端面对向地固定连接至导电平板的两侧。本申请提供的压电器件,采用对向堆叠的压电柱阵列,能够在保持压电器件截面尺寸不变的情况下全面地提升压电器件的灵敏度,有利于对极微弱的水声信号的识别。
公开/授权文献
- CN115342901A 一种压电器件及其制备方法 公开/授权日:2022-11-15