一种压电器件及其制备方法
摘要:
本申请属于水声测量及半导体器件技术领域,提供一种压电器件及其制备方法,所述压电器件包括第一压电模块、第二压电模块及导电平板;所述第一压电模块包括带有第一基底的第一阵列,所述第一阵列包括多个具有第一高度的第一压电柱;所述第二压电模块包括带有第二基底的第二阵列,所述第二阵列包括多个具有第二高度的第二压电柱;所述第一基底与所述第二基底的电极性相同,所述第一阵列的端面与所述第二阵列的端面对向地固定连接至导电平板的两侧。本申请提供的压电器件,采用对向堆叠的压电柱阵列,能够在保持压电器件截面尺寸不变的情况下全面地提升压电器件的灵敏度,有利于对极微弱的水声信号的识别。
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