发明授权
- 专利标题: 一种微发光二极管显示面板及其制造方法
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申请号: CN202211237153.9申请日: 2022-10-11
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公开(公告)号: CN115312636B公开(公告)日: 2022-12-16
- 发明人: 陈文娟 , 李雍 , 王怀厅 , 瞿澄
- 申请人: 罗化芯显示科技开发(江苏)有限公司
- 申请人地址: 江苏省南通市开发区星宇路30号
- 专利权人: 罗化芯显示科技开发(江苏)有限公司
- 当前专利权人: 罗化芯显示科技开发(江苏)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南通市开发区星宇路30号
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/48 ; H01L27/15
摘要:
本发明涉及一种微发光二极管显示面板及其制造方法,涉及微发光二极管显示制造领域。在本发明的微发光二极管显示面板的制造方法中,通过设置金属刻蚀阻挡块,可以有效避免化学机械研磨处理对微发光二极管单元的N型半导体层进行过刻蚀,进而可以避免损坏微发光二极管单元,更具体的,由于金属刻蚀阻挡块的存在,在去除所述衬底的工艺步骤中,可以先利用化学机械研磨处理快速去除所述衬底,当暴露所述金属刻蚀阻挡块时,停止化学机械研磨处理工序,改用激光刻蚀处理,以精确去除每个所述微发光二极管单元的缓冲层,有效提高了微发光二极管单元的转移良率。
公开/授权文献
- CN115312636A 一种微发光二极管显示面板及其制造方法 公开/授权日:2022-11-08
IPC分类: