激光诱导石墨烯的P-N结氢气传感器及其制备方法
Abstract:
本申请提供一种激光诱导石墨烯的P‑N结氢气传感器及其制备方法。本申请在柔性基底上通过激光诱导方式形成有相互连贯的N型石墨烯结构与P型石墨烯结构,并在石墨烯结构表面沉积有金属颗粒。本申请利用金属颗粒与氢气耦合反应,在N型石墨烯结构与P型石墨烯结构之间连贯导通形成的P‑N结处形成空间电荷区,通过空间电荷区中因P‑N结传感器件的金属颗粒/石墨烯以及P‑N结双增强效应所产生的氢致电阻变化提供传感电流信号,从而通过检测P‑N结氢气传感器件的电流变化实现对氢气浓度的辨识。本申请制备成本低,测试精度高,可通过激光诱导技术同时在大面积柔性基底上煅烧形成大规模氢气传感器,实现大规模批量生产。
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