一种高光热性能的纳米结构氮化钛涂层及制备方法
摘要:
本发明公开了一种高光热性能的纳米结构氮化钛涂层及制备方法,包括以下步骤:步骤1:以金属钛作为靶材,将基片与靶材相对设置;基片与靶面两个面之间的夹角为45°~80°;步骤2:步骤2:通入氩气和氮气,采用高功率脉冲磁控溅射进行沉积,放电功率密度为1.0 W/cm2~4.5 W/cm2,峰值功率密度为200 W/cm2~350 W/cm2,沉积时间为30 s~60 s;步骤3:采用直流磁控溅射进行沉积,放电功率密度为3.5 W/cm2~5.0 W/cm2,沉积时间为15 min~25 min;溅射结束冷却后即可得到所需氮化钛涂层;本发明采用高功率脉冲磁控溅射和直流磁控溅射相结合,得到一种与基材结合力高、具有纳米棒结构,纳米棒排列结构紧密,顶端具有尖锐结构的氮化钛涂层;该涂层具有连续可调的光热性能。
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