发明公开
CN1152136A 投影曝光设备及其方法
无效 - 撤回
- 专利标题： 投影曝光设备及其方法
- 专利标题（英）： Apparatus for projection exposure and method thereof
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申请号： CN96114465.3申请日： 1996-11-13
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公开(公告)号： CN1152136A公开(公告)日： 1997-06-18
- 发明人: 宋在宽 , 文常荣 , 朴庆信 , 宋昊钟
- 申请人： 三星电子株式会社
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 王以平
- 优先权： 41255/95 1995.11.14 KR
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
投影曝光设备及其方法。此设备包括光源、用来控制光强度的蝇眼透镜、至少二个以上用来衍射已通过蝇眼透镜的光二次或更多次的光圈、用来接纳光的聚光透镜、用来选择性地通过从聚光透镜入射的光的光掩模、用来对通过光掩模的光进行聚焦的投影透镜、以及用投影透镜聚焦过的光来制作图形的晶片。于是，光圈和光圈缝隙数目的增加就可提高光强度的均匀性并在晶片上获得掩模图形。而且，使图形尺寸和外形的改变减小可增大工艺裕度。
IPC分类:
