一种单晶硅棒旋转提拉装置
摘要:
本发明公布了一种单晶硅棒旋转提拉装置,包括提拉杆、滑轨、旋转部件、提拉部件,提拉杆设有键槽,杆壁设有上轴承座和下轴承座;滑轨与上轴承座和下轴承座固定连接;旋转部件包括旋转电机、第一电机安装架以及齿轮,旋转电机输出端与齿轮之间连接有旋转驱动带;提拉部件包括第二电机安装架及提拉件和滑动件,第二电机安装架上设置有提拉电机,下轴承座上设置有下安装座,下安装座上设置有下齿轮辊轴,提拉电机设置有上齿轮辊轴,上齿轮辊轴与下齿轮辊轴之间通过提拉驱动带连接,提拉件与提拉驱动带固定连接,滑动件滑动的配置在滑轨上;本发明提出一种单晶硅棒旋转提拉装置,其目的是避免旋转提拉过程中导致晶棒晃动,改善晶体的径向均匀性。
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