发明授权
- 专利标题: 一种单晶硅棒旋转提拉装置
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申请号: CN202210717446.0申请日: 2022-06-23
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公开(公告)号: CN115044968B公开(公告)日: 2024-08-20
- 发明人: 常自蕊
- 申请人: 新疆新晶科技有限公司
- 申请人地址: 新疆维吾尔自治区阿克苏地区库车市东城街道长安社区幸福路65号经济技术开发区企业公馆A座4层412-5室
- 专利权人: 新疆新晶科技有限公司
- 当前专利权人: 新疆新晶科技有限公司
- 当前专利权人地址: 新疆维吾尔自治区阿克苏地区库车市东城街道长安社区幸福路65号经济技术开发区企业公馆A座4层412-5室
- 代理机构: 北京华仁联合知识产权代理有限公司
- 代理商 王希刚
- 主分类号: C30B15/30
- IPC分类号: C30B15/30 ; C30B29/06
摘要:
本发明公布了一种单晶硅棒旋转提拉装置,包括提拉杆、滑轨、旋转部件、提拉部件,提拉杆设有键槽,杆壁设有上轴承座和下轴承座;滑轨与上轴承座和下轴承座固定连接;旋转部件包括旋转电机、第一电机安装架以及齿轮,旋转电机输出端与齿轮之间连接有旋转驱动带;提拉部件包括第二电机安装架及提拉件和滑动件,第二电机安装架上设置有提拉电机,下轴承座上设置有下安装座,下安装座上设置有下齿轮辊轴,提拉电机设置有上齿轮辊轴,上齿轮辊轴与下齿轮辊轴之间通过提拉驱动带连接,提拉件与提拉驱动带固定连接,滑动件滑动的配置在滑轨上;本发明提出一种单晶硅棒旋转提拉装置,其目的是避免旋转提拉过程中导致晶棒晃动,改善晶体的径向均匀性。
公开/授权文献
- CN115044968A 一种单晶硅棒旋转提拉装置 公开/授权日:2022-09-13
IPC分类: